真空計測機器

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真空計測機器とは マクラウド真空計(新S型真空計)をはじめ、アナログタイプのU字型真空計から、超小型・高感度・高速応答のマイクロハクマクTMセンサを搭載した、マイクロハクマクTM真空計、丈夫なセンサを搭載したピラニ真空計、デジタルタイプで真空計測・制御する計測器及び、装置を紹介します。

絶対圧力計<型式:AVG-300型>

大気圧までの真空度測定と制御に最適です

ピラニ真空計AVP
  特長
 

●測定レンジがHiレンジとLoレンジから選択できます。Hiレンジ 0.10〜20.00kPa Loレンジ 0.1〜133.3kPa
●高精度です。±0.25%FS±1dig
●受圧素子がSUS316Lのため耐食性に優れています。
●センサは互換性がありセンサのみの交換が可能です。
●読み取り易いデジタルLED表示です。
●圧力変動が激しい場合に応答速度を長く設定できる移動平均時間設定機能を装備しております。
●アナログ出力4-20mA標準装備でフルスケールの設定が可能です。
●通信出力RS-232Cを装備しております。
●コンパレータ出力4点を装備しております。

型式名 AVG-300C11
測定範囲 Hi レンジ 0.10 〜 20.00kPa(表示範囲0.00 〜 24.00kPa)
Lo レンジ 0.1 〜 133.3kPa(表示範囲0.00 〜 145.00kPa)
表示分解能 0.01kPa
表示周期 100ms
精度 ±0.25%FS±1dig
温度ドリフト ±0.03%FS /℃
センサ方式 ピエゾ抵抗式半導体センサ
被測定ガス体 ステンレスが耐える気体
受圧素子材質 SUS316L
耐過負荷 310 kPa
アナログ出力 4-20mA フルスケール値設定可能
通信出力 RS-232C
コンパレータ出力 4 点出力 接点動作設定可能 60V 2A
センサ部出力 RS-485
センサケーブル長 2m LAN ケーブル  ※5m、10m、20m はオプションです。
圧力ポート NW16 SUS304
周囲温度範囲 0 〜 50℃
電源 DC12 〜 24V AC アダプタ使用時 AC100 〜 240V ※AC アダプタはオプションです。
消費電力 2W
寸法・重量 表示器 96(W)×96(H)×34(D)o 250g /センサ 40(W)×40(H)×100(D)o 230g
標準装備機能 移動平均時間(応答速度)設定機能 0 〜 9 秒/アナログ出力フルスケール設定機能
標準付属品 表示器、センサ(NW16)、センサケーブル(LAN ケーブル)2m、パネル取付金具、卓上用スタンド、D-sub コネクタ 2ヶ(9Pin,15Pin)

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(PDF1.1M)

 

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デジタル真空計NMV型

小型・軽量・安価で高領域測定可能なデジタル真空計を新開発いたしました。
  特長

●測定範囲が0.1〜101.3kPaで広範囲です。
●NMV-104Cのセンサ受圧素子はSUS316Lのため耐食性に優れています。
●読み取りやすいデジタルLED表示です。
●レコーダ出力0-1Vを標準装備しています。
●小型・軽量でゴム足付です。持ち運んで使用、卓上使用に最適です。
●計測ソフトウェアもご用意出来ます。(オプション)
●モバイル電源でも駆動します。(オプション)

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(PDF 1.0MB)

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マイクロコイル真空計

従来のピラニ真空計よりも扱いやすく広領域測定が可能!測定値の安定性、センサ部の耐環境性も抜群です!
  特長
表示器が小型で省スペース化が可能に!センサとの一体型、分離型が選べます。
●表示器が小型です。(72W×42H×50D o)
●表示器とセンサは脱着可能で、センサケーブルと接続すれば分離型となり、卓上使用、パネル取付も可能です。※パネル取付は専用パネル板が必要です。
バッテリパック接続可能です。
●メンテナンス等で持ち運んで測定する場合に便利です。
●容量3.7V/5,400mAh(20Wh)で約20時間駆動します。
センサフィラメントのマイクロ化により耐振動、耐衝撃に優れています。
●従来の熱伝導方式の真空計のセンサは極細のフィラメント線になっていますが、マイクロコイル真空計は、マイクロ(コイル状)になっております。
●振動・衝撃によるフィラメント線の断線を防止します。
サーマルシンク構造により安定性に優れています。
●サーマルシンク構造とは、センサフィラメントの周囲温度を一定にコントロールする機構のことで、周囲温度の変化による計測値に与える影響を低減させます。センサ部の周囲温度が変化する環境下で有効です。※実用新案を登録しております。 第3175319 号
フラッシング機能により耐環境性に優れています。
●フラッシング機能とは、センサフィラメントを高温で加熱(約400℃)することにより、センサフィラメントの油分等の付着物除去、センサフィラメントの洗浄を目的とした機能です。汚れやすい真空環境下で有効です。※実用新案を登録しております。 第3175319 号
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(PDF 4.1MB)

 

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マイクロハクマク®圧力計測システム

「世界初」真空環境内ピンポイントの圧力をダイナミックに測定。真空環境内の圧力分布測定も実現!
  特長

非平衡状態にある真空環境内の圧力分布を同時に測定できます。

測定できなかったところでの 測定が可能に!
●真空環境内へ設置でき、ピンポイントで圧力の状態、変化が測定できる。
●センサを複数設置でき、圧力の分布が測定できる。
見えなかったところが可視化できます!
●ガスの状態(流れ・量)が見える。
●装置内の状態が連続的に見える。
●シミュレーション結果が見える。
高品質化、歩留まりの向上を通して 低炭素化(環境負荷の低減)が達成できます!
●真空装置、生産設備を最適な状態に改善、また最適状態を常時確認できる。
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(PDF983K)

 

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マイクロハクマク®真空計<型式:ATP型>

トランスデューザ部/表示器セット
ピラニ真空計APG型
 
  特長
 

●広領域測定可能です。5.0×10-3〜1.0×105 Pa
●レコーダ出力、接点出力3点、通信出力標準装備
●センサフィラメントの薄膜化により、耐衝撃・耐振動に優れています。
●移動平均時間設定が装備されています。圧力変動が激しい測定にも対応できます。
●PC利用により最大32箇所の一括計測管理可能なセンサコントロールシステム(制御部と専用ソフト)をオプションとして準備できます。

 
型式
ATP-NW16
ATP-18
ATP-15
ATP-VCR
センサ形状
NW16フランジ
円筒φ18
円筒φ15
8VCRめすナット
測定範囲 5.0×10-3〜1.0×105 Pa
応答速度 100msec
外部出力 レコーダ出力(0〜10V)/接点出力3点/通信出力(RS-485/RS-232C)
補償機能 温度補償、ゼロ点補正、スパン点補正
電源電圧 DC12〜24V(消費電力 1W以下)

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(PDF3.2M)

 

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ピラニ真空計<型式:APG型>

薄型コンパクト・丈夫なセンサ・低価格。新しいピラニ真空計が誕生しました。
ピラニ真空計APG型
 
測定範囲 2.0×10-1〜2.0×103Pa
表示範囲 1.0×10-1〜1.0×104Pa
表示方法 7segLED赤色(仮数部2桁、指数部1桁 )
表示周期 0.5sec
センサ形状 円筒φ18mm、BS製(内部 白金フィラメント線)
センサケーブル長 4種類から選択 ・ 2m ・ 5m ・ 10m ・ 20m
アナログ出力 0〜5V 疑似ログ出力(0〜5Vは、表示範囲) 各レンジ内リニア出力、負荷抵坑 2kΩ以上
コンパレータ出力 HI/GO/LO 3点出力(AC250V 2A/DC30V 2A)
通信出力 RS-232C準拠
使用温度範囲 0〜+50℃(ACアダプタ含まず)
電源 DC12V〜24V ACアダプタ使用時 AC100〜120V ※ACアダプタはオプションです
移動平均機能 0.5〜9秒の範囲で設定可
外形寸法(突起含まず) 96(W)×96(H)×46.7(D)mm
重量 本体 約350g  センサ 約300g
標準付属品 センサφ18、センサケーブル、卓上用スタンド、パネル取付金具、レコーダ/通信コネクタ、スベリ止めシート

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(PDF1.1M)

 

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ピラニ真空計<型式:AVP型>

ピラニ真空計AVP型は2012年12月末日で生産終了いたしました。
ピラニ真空計AVP
■ピラニ真空計AVP型の生産中止と後継製品のご案内■
  特長
 
●真空測定領域
中真空領域(2.0×10-1〜2.0×103Pa)での測定が可能です。
●リーク検出機能
リーク検出機能付の機種もあります。
●デジタルLED表示
読み取り易いデジタルLED表示です。
●出力バーグラフ表示
出力バーグラフにてアナログ出力を表示します。
●移動平均時間
圧力変動の激しい場合に応答速度(移動平均)を長く設定する事ができます。
●4〜20mAのアナログ出力
4〜20mAのアナログ出力で、フルスケールの設定が可能です。
●コンパレータ出力
HI、GO、LOのコンパレータ出力3点を装備しています。
●RS232C通信出力
RS232C通信出力を装備しておりコンピュータへの取り込みができます。
●卓上・パネル兼用
小型・軽量で卓上使用・パネル取り付けのいずれも可能です。
製品名 ピラニ真空計
型式 AVP−202N
測定範囲 2.0×10-1〜2.0×103Pa
被測定ガス体 非腐食性気体
センサ方式 白金フィラメント(標準、円筒φ18)
センサ位置 分離型(センサーコード、標準2m付)
電源 AC100V 又は AC200V
寸法 本体(表示器) 96W×144H×170D(mm)

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(PDF1.2M)

 

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絶対圧計<型式:AVG型>

絶対圧力計AVG-134型は2016年10月20日で生産終了いたします。
AVG
■絶対圧計AVG-134型の生産中止と後継製品のご案内■
  特長

●真空測定領域
中真空領域(0.1x133.3kPa/0.10x20.00kPa)での測定が可能です。
●デジタルLED表示
読み取り易いデジタルLED表示です。
●出力バーグラフ表示
出力バーグラフにてアナログ出力を表示します。
●移動平均時間
圧力変動の激しい場合に応答速度(移動平均)を長く設定する事ができます。
●4〜20mAのアナログ出力
4〜20mAのアナログ出力で、フルスケールの設定が可能です。
●コンパレータ出力
HI、GO、LO のコンパレータ出力3点を装備しています。
●RS232C通信出力
RS232C通信出力を装備しておりコンピュータへの取り込みができます。
●卓上・パネル兼用
小型・軽量で卓上使用・パネル取り付けのいずれも可能です。

製品名 絶対圧力計
型式
AVG-134N
AVG-134C
測定範囲 0.1×133.3kPa/0.10×20.00kPa
被測定ガス体
非腐食性気体
SUS316Lが耐える気体
センサ方式 半導体圧力センサ
センサ位置 分離型(センサーコード、標準2m付)
電源 AC100V 又は AC200V
寸法 本体(表示器) 96W×144H×170D(mm)

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(PDF1.1M)

 

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真空一定装置<型式:VCN/VCG>

デジタルバキュームコントローラ VCN/VCGシリーズは、圧力センサ・制御用電磁弁・調整用バルブ を一体化した汎用型の真空(ガス圧)一定装置です。 コントロールに必要な基本機能を備えたVCNシリーズと、操作性・機能性を追求したタッチパネルタイプ のVCGシリーズの2種類があります。
  特長
●センサ・電磁弁・バルブを一体化しているので、 別途外部に制御機器を準備する必要はありません。
●調整用バルブを内蔵しているので、真空ポンプ・ 容器の大きさに応じた微調整ができます。
●大容量の容器にも対応可能なセンサ分離型および 腐食性ガスに対応した耐腐食性型もあります。
●センサには互換性があり、センサのみの交換ができます。
  用途
●真空蒸留  ●真空乾燥  ●真空濃縮  ●真空浸透 ●真空成形 ●真空置換 ●ガス圧制御
型式
VCN-300
VCN-300S
VCG-300
VCG-300S
制御範囲
0.10〜101.32kPa
設定単位
kPa
センサ方式
半導体圧力センサ
センサ位置
本体内蔵型
分離型
本体内蔵型
分離型
測定圧表示
5桁7segLED表示
タッチパネルLCD表示
圧力設定方式
4桁サムロータリーSW表示
タッチパネルLCD表示
アナログ出力
DC0〜1V
電源
AC85〜240V 50/60Hz
寸法
150W×230D×150Hmm
220W×250D×250Hmm
※VCN-500, VCG-500シリーズ 腐食性気体対応機種もあります。

この製品の詳細はコチラ
(PDF2.9M)

 

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マクラウド真空計<型式:NEW-S>

毛細管球部の残留気体を圧縮し、微小圧力を拡大して真空度を測定するもので、簡単な回転操作で気体の種類に関係なく直接測定できます。

測定範囲:0.1〜1300Pa
作動液:水銀

注意:
本製品は水銀を使用しております。 水銀は高い毒性を有する物質であることから正しい使用が必要です。 また、廃棄等の際には、適正に分別し、排出することが必要です。 製品には水銀の取扱注意事項の資料を添付しておりますので、ご使用前に必ずお読みいただくようお願い申し上げます。


この製品の詳細はコチラ
(PDF1.3M)

 

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液柱型真空計(U字型、PB型)

  型式 U字型
木製パネル U字型真空計
測定範囲:0.2〜23kPa(4機種)
作動液 : 水銀

注意:
本製品は水銀を使用しております。 水銀は高い毒性を有する物質であることから正しい使用が必要です。 また、廃棄等の際には、適正に分別し、排出することが必要です。 製品には水銀の取扱注意事項の資料を添付しておりますので、ご使用前に必ずお読みいただくようお願い申し上げます。


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(PDF0.8M)

 

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真空計の校正装置

AVG
※参考画像
  特長

●この真空計の校正装置は中真空領域を測定する真空計(主に熱伝導型真空計)を校正するための装置です。
●装置の基本構成は、真空容器、メインポンプ、補助ポンプ、遮断バルブから構成され、全てを一つの架台に搭載しております。
※真空計の校正装置の設計、製作は、真空計校正方法JIS Z 8750 : 2009 に準じております。
※ご要望に応じて簡易型の製作も可能です。

到達圧力 5.0×10-4 Pa 以下
校正圧力範囲 5.0×10-2 〜 1.0×105 Pa
圧力制御方式 手動操作
排気時間 約20分( 大気圧から到達圧力まで)
真空容器 形状 : 円筒形(高さ224o) 材質 : SUS304
表面処理 : 電解研磨
真空計取付ポート数 : 8ポート(ICF-70)
(参照用3ポート、被校正用5ポート)
排気系 メインポンプ : ターボ分子ポンプ 排気速度 70L/s
補助ポンプ : ロータリーポンプ 排気速度 100L/min
真空バルブ : バタフライバルブ
気体導入系 バリアブルリークバルブ、ニードルバルブ、レギュレーター
外形寸法・重量 約 幅55×奥行50×高さ110p 約150kg
※ 仕様はお打合せにより決定いたします。上記仕様表はご参考用です。
※ 基準真空計(参照真空計)をお求めになられる際は別途お打合せさせてください。
※ 基準真空計(参照真空計)により校正圧力範囲は変わります。

 

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